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線性測微計

]資料

產品名稱: 線性測微計
產品型號: 542 激光全息測微計
產品展商: 日本三豐
產品文檔:

傳感器系統(tǒng) 線性測微計 激光掃描測量儀詳細...

簡單介紹

線性測微計 三豐公司的激光全息測微計是一種**數 顯測量系統(tǒng)，采用衍射光束干涉，進行高 精度和高重復精度測量。它具有超細衍射 光柵，將全息影像記錄在刻度尺上。激光 全息測微計適于測量精度極高的工件，特 別適于半導體等行業(yè)使用。

線性測微計

的詳細介紹

線性測微計
支持自動化儀表及專用量具的配套使用
Laser Hologage (激光全息測微計)
542 系列 — 0.00001mm 分辨率型
特點
•由于具有 0.00001mm (0.01µm) 的極高分
辨率適于進行高精度測量，其性能接近
激光干涉儀。
•具有極高的測量穩(wěn)定性——高防護性設
計，適于在惡劣的環(huán)境下工作，如溫度
和氣壓變化的環(huán)境。
•心軸導軌使用高精度線性滾珠軸承，移
動非常濾波且延長了使用壽命。
•帶有顯示裝置。
性能參數
測量范圍 貨號 分辨率 精度 測力 ** 軸套直徑 備注
10mm 542-925* 0.01µm 0.1µm 0.55N / 0.45N / 0.35N 15mm —
10mm 542-926* 0.01µm 0.1µm 0.1N / — / — 15mm 低測力
* 為區(qū)分交流電源電纜，在貨號后加上以下后綴 ：A適于 UL/CSA，D適于 CEE，DC適于 CCC，E適于 BS，K適于 EK，無后綴適于 JIS/100V
** 量具的方向 ：心軸向下 / 水平 / 向上
LGF 線性測微計
542 系列 — 0.0001mm 分辨率型
性能參數
測量范圍 貨號 分辨率 精度 測力 * 軸套直徑
10mm 542-181 0.0001mm (0.8+L/50)µm 1.2N / 1.1N / 1.0N 8mm
25mm 542-182 0.0001mm (0.8+L/50)µm 4.6N / 4.3N / 4.0N 15mm
* L 為測量長度 (mm)
** 量具的方向 ：心軸向下 / 水平 / 向上

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